國產(chǎn)MOCVD期待投入使用“零的突破”
工業(yè)和信息化部發(fā)布的《高端裝備制造業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃》提出，到2015年，高端裝備制造業(yè)銷售收入超過6萬億元，在裝備制造業(yè)中的占比提高到15%;到2020年，高端裝備制造產(chǎn)業(yè)銷售收入在裝備制造業(yè)中的占比提高到25%�？萍疾堪l(fā)布的《半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)“十二五”規(guī)劃》中也提出，到2015年，大型MOCVD裝備、關(guān)鍵原材料將實現(xiàn)國產(chǎn)化。
MOCVD全名叫有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積設(shè)備，是LED外延芯片制造的關(guān)鍵核心設(shè)備。這一設(shè)備長期以來被歐美兩大公司(德國AIXTRON和美國VEECO)壟斷。MOCVD設(shè)備是中國半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸，也是業(yè)界“心中的痛”。LED產(chǎn)業(yè)主要依賴于MOCVD設(shè)備，它與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)極其相似，都是設(shè)備領(lǐng)先，國內(nèi)把攻克MOCVD設(shè)備當(dāng)成LED產(chǎn)業(yè)“十二五”規(guī)劃中的重中之重。
有資料顯示，截至2011年年底，國內(nèi)有近20家企業(yè)在研發(fā)MOCVD設(shè)備，并且部分企業(yè)已經(jīng)有了一定進(jìn)展。今年4月南昌黃綠照明公司依托南昌大學(xué)、國家硅基LED工程技術(shù)研究中心，經(jīng)過多年的努力，成功推出自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)型GaN基MOCVD設(shè)備。這可以說是真正意義上的中國自主研發(fā)制造的可以應(yīng)用于大生產(chǎn)線的生產(chǎn)型設(shè)備。國產(chǎn)設(shè)備有優(yōu)勢，但在推廣中也存在不少問題。如何使國產(chǎn)高端裝備實現(xiàn)在線使用“零的突破”，需要研制者(設(shè)備供應(yīng)商)、用戶(外延芯片制造企業(yè))、政府相關(guān)主管部門的大力支持與通力合作。
國產(chǎn)設(shè)備具有成本優(yōu)勢毋庸置疑，但國產(chǎn)設(shè)備更應(yīng)該做到的是通過過硬的質(zhì)量、優(yōu)良的技術(shù)、卓越的技術(shù)支持和客戶服務(wù)，以及全套的工藝解決方案贏得用戶、贏得市場。從目前有關(guān)MOCVD設(shè)備公司公布的情況看，國產(chǎn)設(shè)備無論是技術(shù)上還是價格上，優(yōu)勢已經(jīng)顯現(xiàn)，目前面臨的最大問題是設(shè)備的推廣。
首先，市場環(huán)境差，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備“生不逢時”。前兩年LED產(chǎn)業(yè)投資過熱，企業(yè)進(jìn)行大規(guī)模投資，目前包括三安、德豪潤達(dá)在內(nèi)的大公司，其設(shè)備開工利用率不足30%。消化目前的產(chǎn)能需要2～3年的時間，因此，未來3年，國產(chǎn)新設(shè)備的推廣前景不容樂觀。其次，設(shè)備關(guān)鍵零配件采購成本高。由于我國基礎(chǔ)工業(yè)落后，部分關(guān)鍵零配件及大量機(jī)加工精密零配件需要進(jìn)口，大大增加了國產(chǎn)設(shè)備的擁有成本。最后，國人的自輕心理，不相信國產(chǎn)設(shè)備的品質(zhì)，也阻礙了國產(chǎn)設(shè)備的推廣。
因此，加快推廣國產(chǎn)設(shè)備，為國產(chǎn)設(shè)備的在線應(yīng)用營造良好的政策環(huán)境、生態(tài)環(huán)境成為當(dāng)務(wù)之急。針對目前市場環(huán)境，可以選擇有技術(shù)實力的LED芯片企業(yè)進(jìn)行財政補(bǔ)貼，鼓勵其使用、試用國產(chǎn)設(shè)備。在關(guān)稅方面，對需要進(jìn)口的關(guān)鍵零配件及材料減免進(jìn)口關(guān)稅，降低國產(chǎn)設(shè)備的制造和擁有成本，切實做到支持國產(chǎn)高端裝備的發(fā)展。此外，還要克服盲目崇洋心理，MOCVD等高端設(shè)備水平的提升，依賴于芯片企業(yè)對國產(chǎn)設(shè)備的信任。好在現(xiàn)在越來越多的企業(yè)已經(jīng)意識到，依靠購買成熟工藝設(shè)備永遠(yuǎn)比別人落后一到兩代，只有自己站上“金字塔”頂，才能成為超越者和引領(lǐng)者。
一代設(shè)備一代工藝一代產(chǎn)品，國外公司用設(shè)備一代一代地牽著我們高科技產(chǎn)業(yè)的鼻子走，這是歐美等發(fā)達(dá)國家慣用的策略和伎倆。LED照明產(chǎn)業(yè)現(xiàn)在還是新興產(chǎn)業(yè)，預(yù)計這一產(chǎn)業(yè)在未來5～8年將成為成熟產(chǎn)業(yè)，現(xiàn)在發(fā)展高端裝備為時不晚。官產(chǎn)學(xué)研用通力合作，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備一定能夠?qū)崿F(xiàn)在線使用“零的突破”，也一定能夠消除中國LED照明產(chǎn)業(yè)“心中的痛”。工欲善其事，必先利其器，只有掌握了關(guān)鍵制造工藝和設(shè)備，才能讓LED照明產(chǎn)業(yè)鏈根植于中國。
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