制備介孔結(jié)構(gòu)氧化鎢氣敏元件

制備介孔結(jié)構(gòu)氧化鎢氣敏元件，將介孔氧化鎢涂覆在預(yù)制有鉑電極的氧化鋁基片（Al2O3陶瓷片）上成膜，然后高溫?zé)崽幚沓�去有機(jī)模板，得到蠕蟲狀孔道結(jié)構(gòu)的氧化鎢薄膜，并以此為氣敏敏感層，測試了元件的氣敏性能，

首先制備Al2O3基片，先將基片（Al2O3陶瓷片）進(jìn)行清洗，為拋光的陶瓷片上存在渣滓，這些雜質(zhì)的存在可能會(huì)導(dǎo)致元件性能的偏移甚至改變。清洗完后采用直流對靶磁控濺射法 借助掩膜版在清潔的Al2O3基片表面沉積叉指Pt電極。
 
然后利用涂覆法在鍍有叉指電極的Al2O3基片表面制備介孔氧化鎢氣敏薄膜；取少量的介孔氧化鎢粉末，加入適量沾性松油醇，混合研磨成具有一定粘稠和流動(dòng)性的氧化鎢涂覆漿料。利用松油醇的粘滯性，可控制漿料的流動(dòng)性便于成膜；在燒結(jié)過程中，有機(jī)溶劑緩慢揮發(fā)，可以保證燒結(jié)成形后的薄膜平整、不龜裂。將漿料涂覆鍍有電極的氧化鋁表面，保證厚度均一致�？諝庵蟹胖�10min。

最后將表面涂覆有氧化鎢薄膜的傳感器基片置于程序控溫退火爐中，空 氣氣氛中于設(shè)定溫度下保溫2h，使有機(jī)溶劑得以揮發(fā)，氧化鎢納米顆粒粘結(jié)從而使薄膜牢固的粘結(jié)在基片上。退火溫度宜控制在在300℃-400℃區(qū)間內(nèi)，溫度過高會(huì)帶來晶體生長或晶型結(jié)構(gòu)變化而破壞已有的介孔結(jié)構(gòu)，但如果溫度過低，一方面無法有效脫除殘留的有機(jī)溶劑，另一方面難以滿足通過退火固化敏感層的需要。