高純鎢粉的純度為5N或6N，由高純仲鎢酸銨還原制得。高純鎢粉及其硅化物用于制備金屬靶材，用于超大規(guī)模集成電路作為電阻層、擴(kuò)散阻擋層等以及在金屬氧化物半導(dǎo)體型晶體管中作為門(mén)材料及連接材料等。
高純鎢粉的純度為5N或6N，由高純仲鎢酸銨還原制得。高純鎢粉及其硅化物用于制備金屬靶材，用于超大規(guī)模集成電路作為電阻層、擴(kuò)散阻擋層等以及在金屬氧化物半導(dǎo)體型晶體管中作為門(mén)材料及連接材料等。
