三酸化タングステン薄膜は、エレクトロクロミック層として機(jī)能する全固體のスマート窓を組み立てるために使用することができる。ある専門家はWO 3薄膜の光學(xué)性能を研究し、その中で、全固體エレクトロクロミック窓の著色狀態(tài)と漂白狀態(tài)の透過(guò)スペクトル曲線は下図のように、動(dòng)作電圧は±3.5 Vである。
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http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html
専門家によると、図から分かるように、器用な窓は可視光透過(guò)率に対して一定の調(diào)節(jié)能力を持っているが、漂白狀態(tài)の時(shí)の透過(guò)率は低く、主な原因は最後の層のITO膜の透過(guò)率が高くないことである。InSn合金ターゲット直流マグネトロンスパッタリングを用いてITO膜を堆積する場(chǎng)合、高い透過(guò)率と電気伝導(dǎo)率を得るために、堆積したITO膜を高溫?zé)釀I理するのが一般的である。しかし、WO 3とNiO膜は高溫?zé)釀I理されるとエレクトロクロミック性能が損なわれる。したがって、全固體精巧窓裝置の製造において、最後のITO膜は熱処理されていない。また、現(xiàn)在、ITOセラミックターゲットを用いてアニール処理を必要とせずにITO膜を製造する技術(shù)を習(xí)得している専門家がいるため、この新しいITO膜を製造する技術(shù)を採(cǎi)用した後、より性能の優(yōu)れた全固體型の器用窓裝置の製造が期待されている。
