タングステンウエハプローブは、集積回路の製造中にウェハテストのために特に設(shè)計される。ここで、ウェハテストは、チップ上の各ダイをテストすることである。一般に、検出ヘッドにタングステン材料からなるプローブを搭載し、ダイ上のコンタクトに接觸して電気的特性をテストする。未修飾のダイはマークされます。そして、チップが個々の金型に切斷されると、これらの不定形のダイは取り除かれ、次の工程は実施されず、製造コストを増加させない。
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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html
タングステンウエハプローブの品質(zhì)は、製造された集積回路の良好なレート及び効率に大きく影響することを意味する。
また、タングステンニードルはテーパーされており、テストの回數(shù)が數(shù)回あった後、ある程度針が切れて針が厚くなり、テスト結(jié)果の精度に影響を與え、タングステン針を交換する必要があります。すなわち、タングステンプローブは、ウェハテスト中に消費可能である。
