鉬鋁鉬膜層顯影后掉膜問題的研究
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鉬鋁鉬膜層為什么在顯影后會(huì)掉膜(手機(jī)觸摸屏功能片顯影刻蝕階段)。 對于經(jīng)常使用智能手機(jī)的人來說這是一個(gè)一直很難解決的問題。
科學(xué)實(shí)驗(yàn)告訴我們,刻蝕階段會(huì)把金屬橋部分的鉬鋁鉬也刻蝕到有多個(gè)原因,主要可能是:1.刻蝕溶液濃度過大。2.流水線節(jié)拍偏慢,使玻璃在溶液中刻蝕的時(shí)間過久,導(dǎo)致刻蝕過度。3.涂膠機(jī)的問題,例如涂膠不均勻,光刻膠厚度太薄,以及光刻膠本身質(zhì)量問題等。4.曝光過程掩膜版的問題,比如掩膜版的位置放的有偏差,導(dǎo)致需要留光刻膠保護(hù)的金屬橋部分被曝光。
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